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大氣壓近旁（離子規(guī)壓力：-100kPa～10kPa）可以進(jìn)行高精度測(cè)量的采用半導(dǎo)體型薄膜素子的壓力傳感器單元。為了可以對(duì)應(yīng)高真空條件下的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的材質(zhì)，采用了SUS316L。愛發(fā)科真空計(jì)G-TRAN系列SAU 壓力傳感器單元

復(fù)合真空計(jì)G-TRAN系列高真空環(huán)境下測(cè)定，對(duì)真空計(jì)的精度（感度平衡，誤差等）和較短的壽命（測(cè)定子污垢，放電難等）有困惑嗎？ULVAC針對(duì)該愿望，開發(fā)了在嚴(yán)酷環(huán)境下長(zhǎng)久，高精度測(cè)定的電離真空計(jì)。

AxTRAN是離子源和離子集電極之間，搭載貝賽爾型能量過濾器的熱陰極型電離真空計(jì)。日本愛發(fā)科*真空計(jì) AxTRAN維修

可以測(cè)量中真空～超高真空領(lǐng)域的熱陰極電離真空計(jì)。10+1?10-8Pa（金屬管類型、GI-M2）、10-1?10-6Pa（玻璃管類型、GI-D7）日本愛發(fā)科電離真空計(jì)GI-M2/GI-D7維修保養(yǎng)

真空環(huán)境下測(cè)定，對(duì)真空計(jì)的精度（感度平衡，誤差等）和較短的壽命（測(cè)定子污垢，放電難等）有困惑嗎？ULVAC針對(duì)該愿望，開發(fā)了在嚴(yán)酷環(huán)境下長(zhǎng)久，高精度測(cè)定的電離真空計(jì)。愛發(fā)科真空計(jì)G-TRAN多離子規(guī)ST2-1/ST2-2